厦门韫茂科技有限公司赖海斌获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种滤芯吹扫装置、真空沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223586816U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423197111.4，技术领域涉及：B01D46/72；该实用新型一种滤芯吹扫装置、真空沉积设备是由赖海斌;赵茂生;刘彦峰设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种滤芯吹扫装置、真空沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种滤芯吹扫装置、真空沉积设备，涉及半导体设备技术领域。其适于设置在滤芯装置上，所述滤芯装置设置于安装桶体内，包括反吹气源、连接所述反吹气源的第一管路气管以及第二管路；所述第一管路延伸入所述滤芯装置内部与设置于所述滤芯装置内部的吹扫气管连接，且所述吹扫气管连接有旋转装置，所述旋转装置适于驱动所述吹扫气管在滤芯装置内部进行转动对滤芯装置进行周向吹扫；所述第二管路连接至所述安装桶体上，所述第二管路适于在所述吹扫气管吹扫完毕后进行通气以将飘散在所述安装桶体内侧与滤芯装置外侧之间的间隙空间内的粉体吹回反应容器内。
本实用新型一种滤芯吹扫装置、真空沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种滤芯吹扫装置，其适于设置在滤芯装置上，所述滤芯装置设置于安装桶体内，其特征在于，包括反吹气源、连接所述反吹气源的第一管路气管以及第二管路，其中，所述第一管路延伸入所述滤芯装置内部与设置于所述滤芯装置内部的吹扫气管连接，且所述吹扫气管连接有旋转装置，所述旋转装置适于驱动所述吹扫气管在滤芯装置内部转动对滤芯装置进行周向吹扫；所述第二管路连接至所述安装桶体上，所述第二管路适于在所述吹扫气管吹扫完毕后进行通气以将飘散在所述安装桶体内侧与滤芯装置外侧之间的间隙空间内的粉体吹回反应容器内。
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