江苏雷博科学仪器有限公司宣海获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏雷博科学仪器有限公司申请的专利一种具有加热控温功能的旋涂匀胶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223587608U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422642609.0,技术领域涉及:B05C13/02;该实用新型一种具有加热控温功能的旋涂匀胶设备是由宣海;严庆峰;许赟;夏秋华设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有加热控温功能的旋涂匀胶设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种具有加热控温功能的旋涂匀胶设备,包含主机和电气控制系统,所述主机包含壳体,在壳体上部设有匀胶腔,在匀胶腔内通过主轴转动设置有真空吸附载物盘,在载物盘下方的壳体上安装有电磁感应加热线圈,对载物盘进行加热;所述匀胶腔上方的壳体上安装有红外测温探头;所述电磁感应加热线圈和红外测温探头均与电气控制系统电连接,并由电气控制系统控制运行。本实用新型结构简单、可靠性高,能对基片进行真空吸附保证其高速稳定旋转,同时对其进行加热并对温度进行精确控制。
本实用新型一种具有加热控温功能的旋涂匀胶设备在权利要求书中公布了:1.一种具有加热控温功能的旋涂匀胶设备,包含主机10和电气控制系统11,所述主机10包含壳体1,在壳体1上部设有匀胶腔7,在匀胶腔7内通过主轴3转动设置有真空吸附载物盘8,其特征在于:在载物盘8下方的壳体1上安装有电磁感应加热线圈6,对载物盘8进行加热;所述匀胶腔7上方的壳体1上安装有红外测温探头9;所述电磁感应加热线圈6和红外测温探头9均与电气控制系统11电连接,并由电气控制系统11控制运行。
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