西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司白皓获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请的专利硅片清洗装置和硅片研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223587870U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422991261.6，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型硅片清洗装置和硅片研磨设备是由白皓;王辉设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片清洗装置和硅片研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种硅片清洗装置和硅片研磨设备，硅片清洗装置包括硅片运输结构，以及沿着硅片的运输方向依次设置的第一清洗结构和第二清洗结构；硅片运输结构包括用于吸附硅片的第一表面的吸附部；第一清洗结构用于对硅片的与第一表面相对设置的第二表面进行清洗；第二清洗结构包括用于承载经过第一清洗结构清洗后的硅片的承载盘，承载盘用于吸附硅片的第二表面。通过第一清洗结构的设置，在硅片进入到第二清洗结构，承载于承载盘之前，先通过第一清洗结构对硅片的第二表面进行清洗，即先对硅片的与承载盘的吸附面进行清洗，避免由于硅片的第二表面残存的研磨废液等影响承载盘对硅片的吸附力，避免由于承载盘的吸附力不足而导致的破片的发生。
本实用新型硅片清洗装置和硅片研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片清洗装置，其特征在于，包括硅片运输结构，以及沿着硅片的运输方向依次设置的第一清洗结构和第二清洗结构； 所述硅片运输结构包括用于吸附硅片的第一表面的吸附部； 所述第一清洗结构用于对硅片的与所述第一表面相对设置的第二表面进行清洗； 所述第二清洗结构包括用于承载经过所述第一清洗结构清洗后的硅片的承载盘，所述承载盘用于吸附硅片的所述第二表面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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