合肥晶合集成电路股份有限公司廖帆伟获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利研磨装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223589099U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423146977.2，技术领域涉及：B24B37/04；该实用新型研磨装置及化学机械研磨设备是由廖帆伟;沈毛振;王润泽设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种研磨装置及化学机械研磨设备，涉及半导体制造领域，包括：无级变速机构，包括用于带动研磨盘以第一角速度转动的第一端，以及用于带动研磨头以第二角速度转动的第二端；研磨头用于将晶圆下压于研磨垫的研磨面上；电动机，用于驱动第一端运动并带动研磨盘运动；无级变速机构，用于传送电动机的动力至第二端，带动研磨头转动；无级变速机构的传速比关联于晶圆与研磨垫的中心间距，传速比为第二角速度与第一角速度的比值。通过在既有的CMP机台设备基础上，取消研磨头电机动力源设置，并为研磨盘旋转速度加入闭合回路控制系统，得到均匀的研磨线速度，提高晶圆的研磨质量。
本实用新型研磨装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨装置，其特征在于，包括： 无级变速机构，包括用于带动研磨盘以第一角速度转动的第一端，以及用于带动研磨头以第二角速度转动的第二端；所述研磨头用于将晶圆下压于研磨垫的研磨面上； 电动机，用于驱动所述第一端运动并带动所述研磨盘运动； 所述无级变速机构，用于传送所述电动机的动力至所述第二端，带动所述研磨头转动；所述无级变速机构的传速比关联于所述晶圆与所述研磨垫的中心间距，所述传速比为所述第二角速度与所述第一角速度的比值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励