华索(苏州)科技有限公司王韦杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华索(苏州)科技有限公司申请的专利一种晶圆加工用自动研磨清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223589136U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422926365.9，技术领域涉及：B24B55/06；该实用新型一种晶圆加工用自动研磨清洗装置是由王韦杰设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工用自动研磨清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及公开了一种晶圆加工用自动研磨清洗装置，包括工作台，工作台上设置有排水槽，排水槽的内底面上安装有用于放置晶圆的清洗式支撑台，清洗式支撑台包括圆盘，圆盘的上表面上贴合安装有清洁布二，中心设置有进水孔，清洗式支撑台的正上方升降设置有上表面清洗机构；该晶圆加工用自动研磨清洗装置，通过升降液压缸将扇形清洁刷下方的清洁布一下降和晶圆接触贴合时，此时晶圆的下表面贴合于清洁布二上，再由水泵抽取清洁剂或超纯水，分别输送向喷头和进水孔向晶圆的上表面和下表面同时喷射清洁剂或超纯水，再配合主轴电和微型防水减速电机的输出轴转动，使得清洁布一和清洁布二可以同时反向旋转清洁擦拭晶圆的上下两侧表面。
本实用新型一种晶圆加工用自动研磨清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用自动研磨清洗装置，包括工作台1，所述工作台1上设置有排水槽2，其特征在于：所述排水槽2的内底面上安装有用于放置晶圆的清洗式支撑台9，所述清洗式支撑台9包括圆盘912，所述圆盘912的上表面上贴合安装有清洁布二910，中心设置有进水孔911； 所述清洗式支撑台9的正上方升降设置有上表面清洗机构，所述上表面清洗机构包括扇形清洁刷和喷头6，所述喷头6和进水孔911通过水泵连通有清洁剂或超纯水。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华索(苏州)科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州园区金达路18号1幢厂房南部1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励