成都新紫光半导体科技有限公司张家伦获国家专利权
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龙图腾网获悉成都新紫光半导体科技有限公司申请的专利研磨液供给装置和研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223589141U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423220857.2,技术领域涉及:B24B57/02;该实用新型研磨液供给装置和研磨设备是由张家伦设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液供给装置和研磨设备在说明书摘要公布了:本公开涉及一种研磨液供给装置和研磨设备,其中,所述研磨液供给装置包括:研磨液供给臂,活动设置在研磨平台上;注液管路,用于向所述研磨平台提供清洗液,所述研磨液供给臂的自由端设有与所述注液管路相连通的喷嘴,所述喷嘴朝向所述研磨平台设置;以及抽吸管路,安装在所述研磨液供给臂的侧方,且所述抽吸管路的进气端靠近所述喷嘴设置,所述抽吸管路用于吸入所述进气端处的空气。这样,注液管路提供的清洗液可以通过喷嘴向研磨平台喷射以冲刷使用完的浆料、研磨残渣等,此时,抽吸管路进行抽气工作,将冲洗反溅的水汽以及浆料、研磨残渣等抽吸至抽吸管路,避免其对周围其它部件产生污染和刮伤。
本实用新型研磨液供给装置和研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种研磨液供给装置,其特征在于,包括: 研磨液供给臂,活动设置在研磨平台上; 注液管路,用于向所述研磨平台提供清洗液,所述研磨液供给臂的自由端设有与所述注液管路相连通的喷嘴,所述喷嘴朝向所述研磨平台设置;以及 抽吸管路,安装在所述研磨液供给臂的侧方,且所述抽吸管路的进气端靠近所述喷嘴设置,所述抽吸管路用于吸入所述进气端处的空气。
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