常熟市兆恒众力精密机械有限公司杨鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉常熟市兆恒众力精密机械有限公司申请的专利一种晶圆夹持定位柱用除毛刺工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223589159U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423282849.0,技术领域涉及:B24C9/00;该实用新型一种晶圆夹持定位柱用除毛刺工装是由杨鹏;赵鹏志设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹持定位柱用除毛刺工装在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆夹持定位柱用除毛刺工装包括:定位底板和压板,所述定位底板为中空的环状结构,包括底圈和托座圈,所述底圈周向均匀环设多个葫芦状定位孔,所述底圈上还均匀布设若干螺纹连接底孔,所述托座圈直径小于所述底圈,所述托座圈叠合所述底圈下方,部分与所述葫芦状定位孔的位置在空间上重合,重合的位置设有托槽;所述压板也是中空环状结构,包括压圈和定位圈,所述定位圈的外径与所述底圈的内径相匹配,所述压圈上设有与所述螺纹连接底孔一一对应的螺纹连接上孔,所述压圈的半径大于所述葫芦状定位孔的顶端到所述底圈圆心的距离。通过上述方式,本实用新型能够提高晶圆夹持定位柱除毛刺的效率,减少二次划伤的产生。
本实用新型一种晶圆夹持定位柱用除毛刺工装在权利要求书中公布了:1.一种晶圆夹持定位柱用除毛刺工装,所述晶圆夹持定位柱上设有凸柱结构且外轮廓不规整,其特征在于,所述除毛刺工装包括:定位底板和压板,所述定位底板由PTEF制成,所述压板由PVC制成,所述定位底板与所述压板之间通过紧固螺丝连接; 所述定位底板为中空的环状结构,包括底圈和托座圈,所述底圈周向均匀环设多个与所述晶圆夹持定位柱的轮廓相匹配的葫芦状定位孔,所述底圈上还均匀布设若干螺纹连接底孔,所述托座圈直径小于所述底圈,所述托座圈叠合所述底圈下方,部分与所述葫芦状定位孔的位置在空间上重合,重合的位置设有与所述晶圆夹持定位柱底部位置形状相匹配的托槽,所述托槽与所述葫芦状定位孔一起拼合成一个完整的晶圆夹持定位柱固定座,所述葫芦状定位孔没有重合的部分构成所述晶圆夹持定位柱的凸柱结构避让位; 所述压板也是中空环状结构,包括压圈和定位圈,所述定位圈的外径与所述底圈的内径相匹配,所述压圈上设有与所述螺纹连接底孔一一对应的螺纹连接上孔,所述压圈的半径大于所述葫芦状定位孔的顶端到所述底圈圆心的距离,所述定位底板与所述压板之间通过紧固螺丝连接在一起时,所述压圈外沿刚好盖在环设在底圈上的葫芦状定位孔的内侧端头上。
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