沈阳中科轻金表面技术有限公司王勇获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳中科轻金表面技术有限公司申请的专利一种阴极枪溅射装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223592804U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423303800.9,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种阴极枪溅射装置是由王勇设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阴极枪溅射装置在说明书摘要公布了:一种阴极枪溅射装置,所属材料表面处理设备技术领域,包括移动底座,移动底座的上表面固定安装有储液箱,储液箱内设置有清水槽和电解液槽,储液箱与移动底座的上表面预留有安装空间,移动底座的上表面贯穿开设有安装槽,安装槽内安装有可滑动调节位置的载板,载板的上表面固定安装有循环泵,循环泵的进液端连接有进液管,循环泵的排液端连接有排液管,排液管的排液端固定连接有阴极枪主体,储液箱的右表面固定安装有挂钩,阴极枪主体挂接安装在挂钩内,本实用新型可显著提升了装置整体的移动便捷性,有效降低了各部件协同移动的复杂度,进而增强了装置对不同应用环境的适应性与灵活性,使其能够更好地满足多样化的工况需求。
本实用新型一种阴极枪溅射装置在权利要求书中公布了:1.一种阴极枪溅射装置,包括移动底座1,其特征在于,所述移动底座1的上表面固定安装有储液箱2,所述储液箱2内设置有清水槽21和电解液槽22,所述储液箱2与移动底座1的上表面预留有安装空间,所述移动底座1的上表面贯穿开设有安装槽11,所述安装槽11内安装有可滑动调节位置的载板3,所述载板3的上表面固定安装有循环泵4,所述循环泵4的进液端连接有进液管41,所述循环泵4的排液端连接有排液管42,所述排液管42的排液端固定连接有阴极枪主体5,所述储液箱2的右表面固定安装在有挂钩,所述阴极枪主体5挂接安装在挂钩内。
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