芯材芯(苏州)半导体科技有限公司孙经成获国家专利权
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龙图腾网获悉芯材芯(苏州)半导体科技有限公司申请的专利一种基于磁控溅射的阴极水路改进装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592806U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422663651.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种基于磁控溅射的阴极水路改进装置是由孙经成;袁韩亮设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于磁控溅射的阴极水路改进装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于磁控溅射的阴极水路改进装置，磁控件本体所在的上部通过上盖板件封盖，形成底部敞开的筒状机构，并在筒状腔体内容纳有磁控组件，靶材件形成对磁控件本体底部的封盖；在磁控组件的上部贯穿固定有连接件，连接件所在的顶部伸出上盖板件向上；位于上盖板件的顶部设置有进水通道、出水通道，并实现进水通道、出水通道分别贯穿上盖板件与磁控件本体所在的中部腔体，使水流在进水通道与出水通道中形成对流。本装置在实际的使用环节中，采用的快插方式相对于之前的卡套安装，在换靶的维护中，能够防止阴极中的水流出，可以更加有方便快捷的拆卸水路，从而可以提高换靶维护的时间成本以及效率。
本实用新型一种基于磁控溅射的阴极水路改进装置在权利要求书中公布了：1.一种基于磁控溅射的阴极水路改进装置，包括磁控件本体1、上盖板件2、驱动件3、靶材件4，其特征在于， 所述磁控件本体1所在的上部通过上盖板件2封盖，形成底部敞开的筒状机构，并在筒状腔体内容纳有磁控组件11，所述靶材件4形成对磁控件本体1底部的封盖； 在所述磁控组件11的上部贯穿固定有驱动件3，所述驱动件3所在的顶部伸出上盖板件2向上，通过所述驱动件3的旋转同步带动对磁控组件11的旋转运动； 位于所述上盖板件2的顶部设置有进水通道21、出水通道22，并实现所述进水通道21、出水通道22分别贯穿上盖板件2与磁控件本体1所在的中部腔体，使水流在进水通道21与出水通道22中形成对流。
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