镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种磁控溅射用靶芯获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592809U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423231973.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射用靶芯是由匡国庆;万安江;朱宣明设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射用靶芯在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种磁控溅射用靶芯，包括壳体以及壳体两端的端盖；在壳体内部沿长度方向间隔设置有多个调节组件；壳体内部还设有磁条，且磁条与多个调节组件相连，在调节组件的作用下调整磁条的高度；壳体两侧对称设有冷却室，通过冷却室内循环流动的冷却水对该靶芯进行冷却；端盖与壳体之间设有密封法兰，用以阻隔冷却室内的冷却水进入。本实用新型的靶芯两端的端盖以及端盖内部用于密封的密封法兰均为可拆卸地连接，并且冷却室与密封法兰之间也为嵌合连接，打开任意一侧的端盖以及密封法兰即可拆卸靶芯中的磁条和磁靴进行维修保养，与传统的靶芯结构相比结构更为巧妙，拆卸维修更为方便。
本实用新型一种磁控溅射用靶芯在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射用靶芯，其特征在于，包括壳体1以及所述壳体1两端的端盖2； 在所述壳体1内部沿长度方向间隔设置有多个调节组件3； 所述壳体1内部还设有磁条4，且所述磁条4与多个所述调节组件3相连，在所述调节组件3的作用下调整所述磁条4的高度； 所述壳体1两侧对称设有冷却室5，通过所述冷却室5内循环流动的冷却水对该靶芯进行冷却； 所述端盖2与所述壳体1之间设有密封法兰6，用以阻隔所述冷却室5内的冷却水进入。
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