昆山弘润真空科技有限公司王跃庚获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山弘润真空科技有限公司申请的专利一种高能离子磁控阴极装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592810U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423302112.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种高能离子磁控阴极装置是由王跃庚;李云设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高能离子磁控阴极装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高能离子磁控阴极装置，属于磁控溅射装置技术领域，阴极装置装配于真空腔体中，包括阴极外壳、磁体、靶材和阴极组件，所述阴极组件存在开口，所述靶材置于阴极外壳开口处，所述磁体设置在阴极外壳内，所述阴极组件设于阴极外壳且用于与电源相连；所述磁体包括位于靶材边缘处上方的环形磁体和置于环形磁体环绕范围内的磁场分割磁体，以使得阴极装置内形成非平衡磁场。本方案通过环形磁体和磁场分割磁体配合设置，使得阴极组件内的呈非平衡磁场状态，使得靶材的消耗更为均匀。
本实用新型一种高能离子磁控阴极装置在权利要求书中公布了：1.一种高能离子磁控阴极装置，装配于真空腔体中，其特征在于：包括阴极外壳1、磁体、靶材4和阴极组件15，所述阴极外壳1存在开口，所述靶材4置于阴极外壳1开口处，所述磁体设置在阴极外壳1内，所述阴极组件15设于阴极外壳1且用于与电源相连； 所述磁体包括位于靶材4边缘处上方的环形磁体2和置于环形磁体2环绕范围内的磁场分割磁体3，以使得阴极装置内形成非平衡磁场。
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