枣庄睿诺电子科技有限公司洪耀获国家专利权
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龙图腾网获悉枣庄睿诺电子科技有限公司申请的专利一种磁控溅射用靶材快捷安装结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592811U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423311500.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射用靶材快捷安装结构是由洪耀;尚军;陈凯;张民井;产桂方设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射用靶材快捷安装结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射靶材安装领域，公开了一种磁控溅射用靶材快捷安装结构，包括靶材安装背板，所述靶材安装背板的顶部设置有靶材压环，所述靶材安装背板的顶部设置有位于靶材压环底部的靶材本体，靶材安装背板的表面套设有齿环，靶材安装背板的表面固定安装有稳定环，稳定环的顶部活动连接有螺杆，螺杆的表面固定连接有齿轮。本实用新型中，通过齿环和齿轮以及螺杆结构的相互配合，齿环转动后带动多个齿轮和螺杆转动，使螺杆带动移动环在靶材安装背板的表面滑动下移，使移动环被带动后通过控制杆对压紧板下移压在靶材压环顶部，实现了靶材本体在靶材压环的快速压紧下被快速安装在靶材安装背板上的效果。
本实用新型一种磁控溅射用靶材快捷安装结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射用靶材快捷安装结构，包括靶材安装背板1，所述靶材安装背板1的顶部设置有靶材压环2，所述靶材安装背板1的顶部设置有位于靶材压环2底部的靶材本体3，其特征在于：所述靶材安装背板1的表面套设有齿环4，所述靶材安装背板1的表面固定安装有稳定环5，所述稳定环5的顶部活动连接有螺杆6，所述螺杆6的表面固定连接有齿轮7，所述齿轮7的表面与齿环4的表面相互啮合，所述靶材安装背板1的表面套设有移动环8，所述螺杆6的表面与移动环8的内部螺纹连接，所述移动环8的顶部通过控制件转动连接有压紧板9。
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