深圳信息职业技术大学;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;徕泰信光(深圳)半导体有限责任公司李海运获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳信息职业技术大学;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;徕泰信光(深圳)半导体有限责任公司申请的专利一种低衍射镀膜夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223592812U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422978939.7,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型一种低衍射镀膜夹具是由李海运;柯伟杰;高凯锋;曾志彬;陈浩彬;林铭荃;王铒楦;黄浩锋;翟冬梅;李军竹;张志超;柳彦龙设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低衍射镀膜夹具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空镀膜技术领域,本实用新型涉及一种低衍射镀膜夹具,包括:保护环,保护环自上而下分为第一环体和第二环体,第一环体的内径大于第二环体的内径,第一环体的内侧底部边缘与第二环体的内侧顶部边缘之间设置有支撑平面,被蒸镀工件放置在支撑平面上,第二环体的内侧底部边缘开设有倒角,倒角的表面为粗糙面型;倒角的表面为粗糙面型的设计,有效减少了镀膜材料在镀膜面边缘的堆积,从而降低了衍射边的产生,使镀膜面的整体质量得到提升,表面更加平整,性能更加稳定,有效的增大了被蒸镀工件的通光口径。
本实用新型一种低衍射镀膜夹具在权利要求书中公布了:1.一种低衍射镀膜夹具,其特征在于,包括:保护环,保护环自上而下分为第一环体和第二环体,第一环体的内径大于第二环体的内径,第一环体的内侧底部边缘与第二环体的内侧顶部边缘之间设置有支撑平面,被蒸镀工件放置在支撑平面上,第二环体的内侧底部边缘开设有倒角,倒角的表面为粗糙面型。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳信息职业技术大学;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;徕泰信光(深圳)半导体有限责任公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道龙翔大道2188号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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