合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592814U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423232351.3，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种真空镀膜设备是由程厚义;娄德强;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空镀膜设备，包括主腔室以及与主腔室连接的进样室，主腔室和进样室内分别安装有主腔样品台和进样支架，进样室上安装有端部可伸入主腔室内的机械手；进样支架包括位于进样室内可升降的支架安装板，支架安装板上安装有多组底板，多组底板上均安装有供基片推入的第二弹片。本实用新型结构简单，通过设置主腔样品台、进样支架和旋转升降机构，使系统能够大批量同时存储和处理样品基片，极大地减少了需要开腔增加或更换样片的频率。这种改进不仅节约了大量的时间，还提高了整体工作效率，使得单位时间内可以处理更多的样品；其次主腔室能够同时为多片样品基片提供一致的工艺环境，确保了批量产品的统一性和质量稳定性。
本实用新型一种真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括主腔室1以及与主腔室1连接的进样室2，所述主腔室1和进样室2内分别安装有主腔样品台3和进样支架4，所述进样室2上安装有端部可伸入主腔室1内的机械手5；所述进样支架4包括位于进样室2内可升降的支架安装板41，所述支架安装板41上安装有多组底板42，多组所述底板42上均安装有供基片6推入的第二弹片43，用于给基片6提供约束力。
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