宁波元物应用材料有限公司刘鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波元物应用材料有限公司申请的专利一种用于制备TaC涂层的化学气相沉积炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592820U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423298662.X，技术领域涉及：C23C16/32；该实用新型一种用于制备TaC涂层的化学气相沉积炉是由刘鹏;徐文立;陈可杰设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于制备TaC涂层的化学气相沉积炉在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种用于制备TaC涂层的化学气相沉积炉，涉及化学气相沉积设备技术领域，包括炉体、密封箱、气体运输装置、旋转装置、进气分流装置和排气分流装置；密封箱设置于炉体内，旋转装置的旋转端伸入到密封箱内并与气体运输装置相连通；进气分流装置设置于炉体的一侧，排气分流装置设置于炉体的另一侧。通过旋转，物料表面不同位置流过的气流能够一致，同时搅动气流，使流场更将均匀，使涂层更加均匀，有效控制产品质量。采用卧式炉体，受厂房高度限制较小，不需要额外的支架以及炉盖运动装置，便于炉体大型化制作。对进气和排气分别进行分流，进一步提高气流的一致性，提高TaC涂层的均匀性，提高产品质量。
本实用新型一种用于制备TaC涂层的化学气相沉积炉在权利要求书中公布了：1.一种用于制备TaC涂层的化学气相沉积炉，其特征在于，包括炉体、密封箱、气体运输装置、旋转装置、进气分流装置和排气分流装置；所述密封箱设置于所述炉体内，所述旋转装置的旋转端伸入到所述密封箱内；所述进气分流装置设置于所述炉体的一侧并与所述气体运输装置相连通，所述排气分流装置设置于所述炉体的另一侧。
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