厦门韫茂科技有限公司赖海斌获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种沉积工艺罐体的安全模块获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592821U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423187817.2，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种沉积工艺罐体的安全模块是由赖海斌;赵茂生设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种沉积工艺罐体的安全模块在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种沉积工艺罐体的安全模块，涉及半导体设备技术领域。其适于设置在工艺罐体上，所述工艺罐体的进料管路与出料管路上分别设置有进料阀与出料阀，包括惰性气源以及与所述惰性气源连接的第一保护气路与第二保护气路，所述第一保护气路连接至所述进料阀的上游端，所述第二保护气路连接至所述出料阀的下游端；所述惰性气源适于向所述进料阀的上游端与出料阀的下游端输送惰性气体以使所述进料阀的上游端与出料阀的下游端的压力大于大气压力，以确保从所述进料阀和出料阀泄漏进工艺罐体的气体为惰性气体，进而防止空气漏进所述工艺罐体。通过本方案可以有效防止进料口和出料口的漏进空气的问题。
本实用新型一种沉积工艺罐体的安全模块在权利要求书中公布了：1.一种沉积工艺罐体的安全模块，其适于设置在工艺罐体上，所述工艺罐体的进料管路与出料管路上分别设置有进料阀与出料阀，其特征在于，包括惰性气源以及与所述惰性气源连接的第一保护气路与第二保护气路，其中，所述第一保护气路连接至所述进料阀的上游端，所述第二保护气路连接至所述出料阀的下游端，且在所述进料阀的上游端与出料阀的下游端设置有压力开关；所述惰性气源适于向所述进料阀的上游端与出料阀的下游端输送惰性气体以使所述进料阀的上游端与出料阀的下游端的压力大于大气压力，以确保从所述进料阀和出料阀泄漏进工艺罐体的气体为惰性气体，进而防止空气漏进所述工艺罐体。
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