湖南顶立科技股份有限公司胡祥龙获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南顶立科技股份有限公司申请的专利一种适用于板状工件的化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592823U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423151025.X，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种适用于板状工件的化学气相沉积设备是由胡祥龙;赵焕;魏巍;戴煜;胡高健;唐佩隧;谭时雨;刘琦设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于板状工件的化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型适用于化学气相沉积技术领域，提供了一种适用于板状工件的化学气相沉积设备。所述适用于板状工件的化学气相沉积设备包括：沉积室；旋转料台，设置在所述沉积室的内部，用于放置板状工件，使得板状工件两表面内侧各形成气流通道；进气管，穿过所述沉积室，设置在板状工件的侧边，用于从侧边向所述气流通道进气；排气管，一端设置有排气孔，另一端通出所述沉积室；所述排气孔位于所述气流通道的排气端且与板状工件的处于同一平面上。本实用新型提高了气流沿着工件表面发生异相表面反应形成的涂层的致密性和基体结合性，进而解决了板状工件基体表面涂层的产品良率低的问题。
本实用新型一种适用于板状工件的化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种适用于板状工件的化学气相沉积设备，其特征在于，所述适用于板状工件的化学气相沉积设备包括： 沉积室； 旋转料台，设置在所述沉积室的内部，用于放置板状工件，使得板状工件两表面内侧各形成气流通道； 进气管，穿过所述沉积室，设置在板状工件的侧边，用于从侧边向所述气流通道进气； 排气管，一端设置有排气孔，另一端通出所述沉积室；所述排气孔位于所述气流通道的排气端且与板状工件的处于同一平面上。
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