拉普拉斯新能源科技股份有限公司郭路斌获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利舟片和舟结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223592825U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423313887.8,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型舟片和舟结构是由郭路斌;朱太荣;刘群设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本舟片和舟结构在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体和光伏技术领域,具体涉及一种舟片和舟结构,以解决片材表面的膜厚不均匀的问题。该舟片包括主体,主体能够与电极电连接,使得主体能够被通电,主体的上表面具有承载区域和第一槽,承载区域被配置为承载片材,第一槽设置于承载区域的外侧。由于承载区域的外侧设置有第一槽,在对产品表面进行镀膜的过程中,第一槽可以减小承载区域的外侧的电场强度,从而减小片材外侧的工艺气体的浓度,使片材的中心区域和边缘区域的工艺气体的浓度更加接近,从而片材的中心区域和边缘区域的工艺气体的沉积速率基本一致,提高了片材表面的膜层厚度的均匀性,减少甚至消除了片材边缘的色差,提高了片材的电学特性和光学特性。
本实用新型舟片和舟结构在权利要求书中公布了:1.一种舟片,其特征在于,包括: 主体,所述主体能够与电极电连接,以使所述主体能够被通电,其中,所述主体的材质为导电材质; 其中,所述主体的上表面具有至少一个承载区域和至少一个第一槽,所述承载区域被配置为承载片材,所述第一槽设置于所述承载区域的外侧。
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