拉普拉斯新能源科技股份有限公司徐少洪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利阻挡结构以及加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592826U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423307769.6，技术领域涉及：C23C16/505；该实用新型阻挡结构以及加工设备是由徐少洪;李宏盛;万大明;常文平;邓志鹏设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本阻挡结构以及加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种阻挡结构以及加工设备，涉及半导体或光伏材料加工领域，解决了由于等离子体增强化学气相沉积设备中的匀流结构具有缺口，影响了工艺气体在反应腔内的均匀性的技术问题。该阻挡结构包括：至少一个磁流体组件，每个磁流体组件包括相互连接的固定件和转动件，转动件能够相对于固定件转动，固定件与盖板连接；至少一个匀流组件，设置于反应腔内，每个匀流组件与对应的磁流体组件的转动件连接，每个匀流组件被配置为对反应腔内的工艺气体进行匀流，并且每个匀流组件能够在对应的磁流体组件的转动件的带动下旋转，以遮挡或者暴露观察窗。通过这种结构，匀流组件可以弥补反应腔内的匀流结构的缺口对工艺气体均匀性的影响。
本实用新型阻挡结构以及加工设备在权利要求书中公布了：1.一种阻挡结构，其特征在于，应用于反应炉，所述反应炉具有反应腔，所述反应炉的炉尾具有开口和用于封闭所述开口的盖板，所述盖板具有观察窗，所述阻挡结构包括： 至少一个磁流体组件，每个所述磁流体组件包括相互连接的固定件和转动件，所述转动件能够相对于所述固定件转动，所述固定件与所述盖板连接，每个所述磁流体组件的第一端位于所述反应腔外，每个所述磁流体组件的第二端位于所述反应腔内； 至少一个匀流组件，设置于所述反应腔内，至少一个所述匀流组件与至少一个所述磁流体组件一一对应设置，每个所述匀流组件与对应的所述磁流体组件的所述转动件连接，每个所述匀流组件被配置为对所述反应腔内的工艺气体进行匀流，并且每个所述匀流组件能够在对应的所述磁流体组件的所述转动件的带动下旋转，以遮挡或者暴露所述观察窗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯新能源科技股份有限公司，其通讯地址为：518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励