北方民族大学杨少林获国家专利权
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龙图腾网获悉北方民族大学申请的专利一种降低单晶硅氧含量的热场装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223592884U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423204999.X,技术领域涉及:C30B29/06;该实用新型一种降低单晶硅氧含量的热场装置是由杨少林;刘天培;盛旺;芮阳;王忠保;商润龙设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低单晶硅氧含量的热场装置在说明书摘要公布了:本实用新型适用于单晶硅生产技术领域,提供了一种降低单晶硅氧含量的热场装置,包括:单晶炉;开设在所述单晶炉顶部用于使晶棒伸入单晶炉内部的圆形开口;安装在所述单晶炉底部的密封轴承;安装在所述密封轴承上的旋柱;固定安装在所述旋柱上用于熔融单晶硅的坩埚;安装在所述单晶炉顶部内壁上用于降低单晶硅氧含量的可调节热屏机构;安装在所述单晶炉上用于置换单晶炉内部气体的气体置换机构。本方案提供的降低单晶硅氧含量的热场装置能够通过预先置换单晶炉内的气体环境并配合调节热屏与熔融单晶硅液面之间的距离来降低单晶硅的氧含量,降低单晶硅氧含量的效果较好,成本较低。
本实用新型一种降低单晶硅氧含量的热场装置在权利要求书中公布了:1.一种降低单晶硅氧含量的热场装置,其特征在于,包括: 单晶炉; 开设在所述单晶炉顶部用于使晶棒伸入单晶炉内部的圆形开口; 安装在所述单晶炉底部的密封轴承;安装在所述密封轴承上的旋柱; 固定安装在所述旋柱上用于熔融单晶硅的坩埚; 安装在所述单晶炉顶部内壁上用于降低单晶硅氧含量的可调节热屏机构; 安装在所述单晶炉上用于置换单晶炉内部气体的气体置换机构。
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