国芯半导体(仪征)有限公司陈骏获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223592885U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423260189.6，技术领域涉及：C30B29/06；该实用新型一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置是由陈骏;曾东林设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置，包括储液箱，所述储液箱的底面连通有排液管，所述排液管的底端连通有分液箱，所述分液箱的底面固定连通有一组等距离排列的供液管，每个所述供液管的外表面均设置有电磁阀，每个所述供液管的内部均设置有流量计。本装置通过设置的分液箱、供液管、电子阀、控制面板与流量计的配合，利用多个供液管保证了外延片生长过程中的液体供应稳定，避免了传统供液装置可能出现的供液不均匀、供液不足等问题，并且利用电磁阀可以根据实际需求自动调节液体供给量，减少人工操作干预，提升了生产效率，利用流量计可以监测供液管内部流动液体量，进一步保证液体供给量的精准。
本实用新型一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置，其特征在于：包括储液箱1，所述储液箱1的底面连通有排液管11，所述排液管11的底端连通有分液箱10，所述分液箱10的底面固定连通有一组等距离排列的供液管7，每个所述供液管7的外表面均设置有电磁阀6，每个所述供液管7的内部均设置有流量计17，所述储液箱1的正面安装有控制面板12，所述分液箱10的内底壁安装有两个温度传感器16，所述分液箱10的内壁固定连接有支柱14，所述支柱14的外部设置有加热丝15。
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