上海嘉诺密封技术有限公司熊进波获国家专利权
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龙图腾网获悉上海嘉诺密封技术有限公司申请的专利半导体腔室阀门阀板密封件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223594965U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520298077.5,技术领域涉及:F16J15/10;该实用新型半导体腔室阀门阀板密封件是由熊进波;张超设计研发完成,并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体腔室阀门阀板密封件在说明书摘要公布了:本实用新型提供半导体腔室阀门阀板密封件,包括本体,所述本体与阀板沟槽配合,所述本体的横截面呈“山”字形,所述本体靠近所述阀板沟槽一侧的高度与所述阀板沟槽的深度一致,所述本体的中部设置有凸起部,所述凸起部的高度大于所述阀板沟槽的深度,所述凸起部远离所述阀板沟槽的一端为圆弧凸起;通过“山”字形密封件特有的结构和小圆角,小宽度,小面积,降低动态摩擦可能带来的扭曲、断裂以及颗粒等问题。
本实用新型半导体腔室阀门阀板密封件在权利要求书中公布了:1.半导体腔室阀门阀板密封件,其特征在于,包括本体,所述本体与阀板沟槽配合,所述本体的横截面呈“山”字形,所述本体靠近所述阀板沟槽一侧的高度与所述阀板沟槽的深度一致,所述本体的中部设置有凸起部,所述凸起部的高度大于所述阀板沟槽的深度,所述凸起部远离所述阀板沟槽的一端为圆弧凸起。
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