合肥皓宇芯光科技有限公司薛健健获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥皓宇芯光科技有限公司申请的专利一种冷却水输送管道获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223595349U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520139316.2，技术领域涉及：F16L27/108；该实用新型一种冷却水输送管道是由薛健健;马丁;陈凯旋;李成平;王坤;崔绍龙;杨皓设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷却水输送管道在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种冷却水输送管道，包括：水管，水管与电离台连通设置，水管包括伸缩钢管，伸缩钢管位于真空腔体内，伸缩钢管设置第一连接部与第二连接部，第一连接部与第二连接部之间设置伸缩部，伸缩部为波纹钢管。本实用新型中，极紫外发生器在使用前，需要对电离台的位置进行调节，使得电离台的位置发生变化，伸缩钢管的伸缩部可以随电离台的高度变化进行伸缩，且电离台在平面内移动位置时，伸缩部还可以通过扭动以适配电离台，使得该冷却水输送管道可以在防泄漏的同时还能适配电离台的位置移动，无需随电离台的移动更换不同长度的管道。
本实用新型一种冷却水输送管道在权利要求书中公布了：1.一种冷却水输送管道，适用于冷却系统，所述冷却系统应用于极紫外光发生器，所述极紫外光发生器内部设置有常压腔体21与真空腔体22，所述真空腔体22内设置电离台3，其特征在于，包括：水管，所述水管与所述电离台3连通设置； 所述水管包括伸缩钢管6，所述伸缩钢管6位于所述真空腔体22内，所述伸缩钢管6设置第一连接部61与第二连接部62，所述第一连接部61与所述第二连接部62之间设置伸缩部63，所述伸缩部63为波纹钢管。
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