浙江芯晟半导体科技有限责任公司金磊获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯晟半导体科技有限责任公司申请的专利一种可延长使用周期的离子注入机用尾气排放管路获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223595659U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520141565.5，技术领域涉及：F17D1/02；该实用新型一种可延长使用周期的离子注入机用尾气排放管路是由金磊;黄帅曦;何文设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可延长使用周期的离子注入机用尾气排放管路在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种可延长使用周期的离子注入机用尾气排放管路，其特征在于，包括彼此间隔设置的第一汇流管和第二汇流管，第一汇流管一端与干泵连接，一端连接有第一分流管，第二汇流管一端与尾气处理装置连接，一端连接有第二分流管，第一分流管两端分别向两侧延伸作为第一连接端，第二分流管两端分别向两侧延伸作为第二连接端，两侧第二连接端和两侧第一连接端分别连接有可拆卸的特氟龙管，以此形成第一管路和第二管路，第一管路和第二管路的开闭状态可进行切换，且开闭状态相互相反。本实用新型具有以下优点和效果：能够无需频繁的更换特氟龙管，以此减少更换特氟龙管时设备的停机时间，从而提高整体对半导体的加工效率。
本实用新型一种可延长使用周期的离子注入机用尾气排放管路在权利要求书中公布了：1.一种可延长使用周期的离子注入机用尾气排放管路，其特征在于，包括彼此间隔设置的第一汇流管和第二汇流管，所述第一汇流管一端与干泵连接，一端连接有第一分流管，所述第二汇流管一端与尾气处理装置连接，一端连接有第二分流管，所述第一分流管两端分别向两侧延伸作为第一连接端，所述第二分流管两端分别向两侧延伸作为第二连接端，两侧第二连接端和两侧第一连接端分别连接有可拆卸的特氟龙管，以此形成第一管路和第二管路，所述第一管路和第二管路的开闭状态可进行切换，且开闭状态相互相反。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江芯晟半导体科技有限责任公司，其通讯地址为：314000 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇凌公塘路3556号南湖海创园10号楼306室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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