厦门钧摩芯半导体有限公司白晓锌获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门钧摩芯半导体有限公司申请的专利一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223595941U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422917584.0，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置是由白晓锌;彭认清;蔡项勉;陈瑞勇;陈志达设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体废气处理设备技术领域，一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置，包括进气筒，进气筒内设有涡流导向结构，进气筒侧壁上设有废气管，进气筒顶部连通一混合筒，混合筒内设有若干纵向间隔分布的隔板，相邻隔板上设有相互错位的穿孔，混合筒顶部连接有加热箱，加热箱顶部设有排气管；进气筒外侧还设有氧气筒，氧气筒的输入端设有进气扇，氧气筒的输出端连通进气筒的内腔。本实用新型有利于解决目前一些加热装置中螺旋输送杆的结构相对笨重，占据了进气筒中的较大空间，挤压了气体流动空间，且混合筒内的结构相对简单，气体的混合仅依赖风扇旋转，无法持续保障气体混合效果的稳定性的问题。
本实用新型一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制程废气燃烧净化的加热装置，其特征在于，包括进气筒1，进气筒1内设有涡流导向结构，所述涡流导向结构包括设置于进气筒1内侧壁上的导流件5，导流件5为上下贯通的筒体结构，其内侧壁上设有起导流作用的螺旋叶片51，进气筒1侧壁上设有废气管3，废气管3用于供待净化的废气输入进气筒1内侧底部，进气筒1顶部连通一混合筒6，混合筒6内设有若干纵向间隔分布的隔板，相邻隔板上设有相互错位的穿孔，混合筒6顶部连接有加热箱，加热箱顶部设有排气管91；进气筒1外侧还设有氧气筒4，氧气筒4的输入端设有进气扇41，氧气筒4的输出端连通进气筒1的内腔。
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