上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223595943U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423205854.1,技术领域涉及:F23G7/06;该实用新型一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成是由崔汉博;程勇设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体尾气处理领域。本实用新型提供了一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成,包括第一反应腔、第一空气腔、第一空气腔上壁和第二反应腔,所述第一反应腔的上方设置有等离子体燃烧器总成,所述第一反应腔侧面设置有若干进尾气管,所述进尾气管与第一反应腔连通;所述第一空气腔上设置有第一进空气口,所述第一空气腔上壁具有环形凹槽,所述第一空气腔通过环形凹槽与第一反应腔连通。第一倾斜板与第二倾斜板平行间隔设置形成容纳空气导入的通道。本实用新型提出的一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成,使得空气集中在一个地方,确保空气和尾气在等离子火焰周围充分混合和反应,提高了气流的混合效率,提高了尾气处理效果。
本实用新型一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成在权利要求书中公布了:1.一种等离子燃烧水洗式尾气设备反应腔总成,其特征在于,包括第一反应腔3、第一空气腔4、第一空气腔上壁42和第二反应腔5,所述第一反应腔3的上方设置有等离子体燃烧器总成31,所述第一反应腔3侧面设置有若干进尾气管1,所述进尾气管1与第一反应腔3连通;所述第一空气腔4上设置有第一进空气口41,所述第一空气腔上壁42具有环形凹槽421,所述第一空气腔4通过环形凹槽421与第一反应腔3连通。
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