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上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权

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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223595944U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423205855.6,技术领域涉及:F23G7/06;该实用新型一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置是由崔汉博;杜全成设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置,其特征在于,包括主腔体和等离子发生器,所述主腔体内连接有多个用于引入氢气尾气的第一进气管,所述第一进气管的进口端周向布置且与主腔体的上部连通,所述主腔体的上部还连通有第三进气管,空气或氧气可经第三进气管进入主腔体内以助燃,所述主腔体的下部与水洗设备连通,所述主腔体外形成有风冷腔,所述风冷腔包括内腔和外腔,所述内腔环绕主腔体设置且向下开口,所述外腔设于内腔外且通过若干周向布置的第一通孔与内腔连通,所述外腔与第二进气管连通。本实用新型结构合理、降温效果好且降温均匀。

本实用新型一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置,其特征在于,包括主腔体1和等离子发生器13,所述等离子发生器13用于向主腔体1内发射带电粒子,所述主腔体1内连接有多个用于引入氢气尾气的第一进气管2,所述第一进气管2的进口端周向布置且与主腔体1的上部连通,所述主腔体1的上部还连通有第三进气管3,空气或氧气可经第三进气管3进入主腔体1内以助燃,所述主腔体1的下部与水洗设备5连通,所述主腔体1外形成有风冷腔6,所述风冷腔6包括内腔61和外腔62,所述内腔61环绕主腔体1设置且向下开口,所述外腔62设于内腔61外且通过若干周向布置的第一通孔10与内腔61连通,所述外腔62与第二进气管8连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海高笙集成电路设备有限公司,其通讯地址为:200000 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区奔腾路413、501号、鹏翼路75号10幢一层南侧及三层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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