深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司魏巍获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种进气过渡管及炉管机台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223596524U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423187919.4,技术领域涉及:F27D7/02;该实用新型一种进气过渡管及炉管机台是由魏巍;伏鹏锦;刘付越设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气过渡管及炉管机台在说明书摘要公布了:本申请涉及一种进气过渡管及炉管机台,所述进气过渡管包括:管体,所述管体用于输送气液混合物;第一分割部件,所述第一分割部件在所述管体内沿所述管体延伸,所述第一分割部件由多孔材质构成;所述第一分割部件用于分割通入所述管体第一端的气液混合物中的液滴,经分割后的所述气液混合物通过所述管体的第二端排出。本申请具有对气液混合物中的大颗粒液滴进行分割,减少半导体制品出现的球状缺陷的效果。
本实用新型一种进气过渡管及炉管机台在权利要求书中公布了:1.一种进气过渡管,其特征在于,用于连接炉管机台,包括: 管体,所述管体用于输送气液混合物; 第一分割部件,所述第一分割部件在所述管体内沿所述管体延伸,所述第一分割部件由多孔材质构成; 所述第一分割部件用于分割通入所述管体第一端的气液混合物中的液滴,经分割后的所述气液混合物通过所述管体的第二端排出。
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