盛合晶微半导体(江阴)有限公司宋怀铚获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种用于检测晶圆铁环的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223596771U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520052682.4,技术领域涉及:G01B5/20;该实用新型一种用于检测晶圆铁环的装置是由宋怀铚设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于检测晶圆铁环的装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于检测晶圆铁环的装置,包括底座平台、晶圆铁环检验凹槽及至少一个拿取槽,其中,底座平台包括相对设置的第一面与第二面,晶圆铁环检验凹槽开设于底座平台的第一面,晶圆铁环检验凹槽的轮廓与待检测晶圆铁环的标准轮廓相匹配,拿取槽自底座平台的第一面开口,并往底座平台的第二面方向延伸,且拿取槽与晶圆铁环检验凹槽连通并在底座平台所在平面上突出于晶圆铁环检验凹槽的外侧壁和或内侧壁。本实用新型的用于检测晶圆铁环的装置能够及时检出形变或者翘曲的晶圆铁环,可以将异常的晶圆铁环及时淘汰,避免产品的后续作业受到影响,提升作业安全性。
本实用新型一种用于检测晶圆铁环的装置在权利要求书中公布了:1.一种用于检测晶圆铁环的装置,其特征在于,包括: 底座平台,包括相对设置的第一面与第二面; 晶圆铁环检验凹槽,开设于所述底座平台的第一面,所述晶圆铁环检验凹槽的轮廓与待检测晶圆铁环的标准轮廓相匹配; 至少一个拿取槽,所述拿取槽自所述底座平台的第一面开口,并往所述底座平台的第二面方向延伸,所述拿取槽与所述晶圆铁环检验凹槽连通并在所述底座平台所在平面上突出于所述晶圆铁环检验凹槽的外侧壁和或内侧壁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司,其通讯地址为:214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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