深圳市纳诺测量技术有限公司周震获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市纳诺测量技术有限公司申请的专利基于视觉的晶圆盒快速测量机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223596800U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520064322.6,技术领域涉及:G01B11/00;该实用新型基于视觉的晶圆盒快速测量机是由周震;邹建军;袁忠奎设计研发完成,并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于视觉的晶圆盒快速测量机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了基于视觉的晶圆盒快速测量机,包括底座,所述固定板上设置有上视觉模组,所述底座的顶部位于上视觉模组的正下方固定安装有电动旋转台,多组所述固定柱的顶部固定安装有用于晶圆盒放置的放置板,所述放置板的顶部开设有多组用于晶圆盒定位的产品定位柱;所述底座的顶部设有三轴运动机构,所述三轴运动机构上设置侧边视觉模组;本实用新型的晶圆盒快速测量机为集运动及视觉一体的快速测量设备,可快速完成晶圆盒外形尺寸的测量,提升了测量效率,并能够降低测量难度,大大提高了生产效率,并且采用了非接触式测量技术,设备无需与晶圆盒直接接触,从而避免了因接触而产生的误差和磨损。
本实用新型基于视觉的晶圆盒快速测量机在权利要求书中公布了:1.基于视觉的晶圆盒快速测量机,包括底座1,其特征在于:所述底座1的顶部呈对称固定安装有两组支撑柱2,两组所述支撑柱2的顶部固定安装有固定板3,所述固定板3上设置有上视觉模组; 所述底座1的顶部位于上视觉模组的正下方固定安装有电动旋转台8,所述电动旋转台8的顶部固定安装有底板9,所述底板9的顶部固定安装有多组固定柱10,多组所述固定柱10的顶部固定安装有用于晶圆盒放置的放置板11,所述放置板11的顶部开设有多组用于晶圆盒定位的产品定位柱13; 所述底座1的顶部设有三轴运动机构,所述三轴运动机构上设置侧边视觉模组。
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