煜汉精机(昆山)有限公司李江欢获国家专利权
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龙图腾网获悉煜汉精机(昆山)有限公司申请的专利一种半导体三轴精密检测调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223596898U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423187340.8，技术领域涉及：G01D11/30；该实用新型一种半导体三轴精密检测调节装置是由李江欢设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体三轴精密检测调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体三轴精密检测调节装置，包括：基座，安装在所述基座一侧的三个高精密电动位移台，以及固定在所述高精密电动位移台一侧的若干调整块和若干高精度直线导轨；所述调整块和高精度直线导轨的一侧安装有检测机构安装板；将三个高精密电动位移台锁固在一个基座上，既可三轴联动，又可三轴单独移动。调整块和检测机构安装板以及高精度直线导轨组成的粗调机构，叠加布置在高精密电动位移台的上板上。充分利用空间结构，整体结构精小，且占据空间小。通过高精度交叉滚柱导轨和传动机构的使用，实现了高精度调节的要求。上位机对电机和精密检测机构的远程控制，实现了换型方便，调节效率高，速度快，准确性好的特点。
本实用新型一种半导体三轴精密检测调节装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体三轴精密检测调节装置，其特征在于，包括：基座1，安装在所述基座1一侧的三个高精密电动位移台2，以及固定在所述高精密电动位移台2一侧的若干调整块3和若干高精度直线导轨4； 所述调整块3和高精度直线导轨4的一侧安装有检测机构安装板5，所述检测机构安装板5的一侧设置有用于对待检测的半导体实现检测的精密检测机构6； 所述高精密电动位移台2包括：固定在所述基座1一侧的下板21，安装在所述下板21一侧的上板22，以及设置在所述下板21与所述上板22之间的若干交叉滚柱导轨23；所述下板21与所述上板22之间设置有用于驱动所述上板22做直线运动的传动机构。
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