株式会社迪思科增田幸容获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置和被加工物的加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111834254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010294889.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权加工装置和被加工物的加工方法是由增田幸容;小田中健太郎设计研发完成，并于2020-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工装置和被加工物的加工方法在说明书摘要公布了：提供加工装置和被加工物的加工方法，能够观察卡盘工作台所保持的被加工物的下表面侧且能够实现装置的尺寸的缩小化。该加工装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工；移动机构，其使卡盘工作台和加工单元沿着与卡盘工作台的保持面平行的方向相对地移动；角度控制机构，其设置于移动机构上且设置于卡盘工作台的下侧，对卡盘工作台的角度进行控制；以及拍摄单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，卡盘工作台包含：保持部件，其由透明体构成，对被加工物进行保持；以及支承部件，其与角度控制机构连接，对保持部件的一部分进行支承。
本发明授权加工装置和被加工物的加工方法在权利要求书中公布了：1.一种加工装置，其特征在于， 该加工装置具有： 卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持； 加工单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工； 移动机构，其使该卡盘工作台和该加工单元沿着与该卡盘工作台的保持面平行的方向相对地移动； 角度控制机构，其设置于该移动机构上且设置于该卡盘工作台的下侧，对该卡盘工作台的角度进行控制；以及 拍摄单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄， 该卡盘工作台包含： 保持部件，其由透明体构成，对该被加工物进行保持；以及 支承部件，其与该角度控制机构连接，对该保持部件的一部分进行支承， 无需另外设置用于使该拍摄单元在与该卡盘工作台的保持面平行的方向上移动的机构而在通过该移动机构使该卡盘工作台移动而将该拍摄单元定位于该保持部件的下侧且不与该支承部件重叠的区域的状态下，利用该拍摄单元隔着该保持部件对该被加工物进行拍摄。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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