株式会社迪思科松田智人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利扩展装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112397416B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010799432.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权扩展装置是由松田智人设计研发完成，并于2020-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩展装置在说明书摘要公布了：提供扩展装置，其在连续对多个被加工物单元的扩展片进行扩展的情况下也能消除扩展后的被加工物单元的扩展片的松弛而防止芯片损伤，并抑制下一个扩展的被加工物单元的冷却不良。扩展装置1具有：框架保持单元20，其对被加工物单元的环状框架进行保持；冷却工作台30，其包含抵接面31，与框架保持单元所保持的被加工物单元的扩展片抵接；扩展单元40，其对扩展片进行扩展；加热单元50，其具有向被加工物的外周侧与环状框架的内周缘之间的扩展片喷射暖风的暖风喷射部52；和弯曲板90，其配设于被加工物与暖风喷射部之间，具有朝向被加工物喷出空气的喷出口，防止从暖风喷射部52喷射的暖风的侵入。
本发明授权扩展装置在权利要求书中公布了：1.一种扩展装置，其对被加工物单元的扩展片进行扩展，该被加工物单元由被加工物、粘贴于被加工物的该扩展片以及粘贴有该扩展片的外周侧的环状框架构成，其中， 该扩展装置具有： 框架保持构件，其对被加工物单元的环状框架进行保持； 冷却工作台，其包含与被加工物对应的大小的抵接面，该冷却工作台与包含该框架保持构件所保持的该环状框架的该被加工物单元的该扩展片抵接； 扩展构件，其对粘贴于该框架保持构件所保持的该环状框架的该扩展片进行扩展； 加热构件，其具有面对被加工物的外周侧与该环状框架的内周缘之间的该扩展片而喷射暖风的暖风喷射部； 暖风侵入防止构件，其配设于被加工物与该暖风喷射部之间，具有朝向该被加工物喷出气体的喷出口，防止从该暖风喷射部喷射的暖风侵入；以及 工作台罩，其覆盖该冷却工作台的外周，并且在该加热构件向该被加工物的外周侧与该环状框架的内周缘之间的该扩展片喷射暖风时，从该工作台罩与该冷却工作台之间吹出压缩空气。
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