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IMEC 非营利协会A·M·沃克获国家专利权

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龙图腾网获悉IMEC 非营利协会申请的专利III-V器件与IV族器件的共同集成获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112670284B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010897027.0,技术领域涉及:H10D84/00;该发明授权III-V器件与IV族器件的共同集成是由A·M·沃克;L·维特斯设计研发完成,并于2020-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

III-V器件与IV族器件的共同集成在说明书摘要公布了:在第一方面,本发明涉及一种方法,该方法包括:a提供SixGe1‑x100基材10,其中x为0‑1;b选择用于在其中形成IV族器件50的第一区域21和用于在其中形成III‑V器件80的第二区域22,第一区域和第二区域22各自包括SixGe1‑x100基材10的一部分;c至少为III‑V器件80形成沟槽隔离30;d在第一区域21中提供SiyGe1‑y100表面15,其中y为0到1;e在第一区域21中的SiyGe1‑y100表面15上至少部分地形成IV族器件50;f在第二区域22中形成暴露SixGe1‑x100基材10的沟槽60,相对于第一区域21中的SiyGe1‑y100表面15,沟槽60具有至少200nm,优选至少500nm,更优选至少1μm,最优选至少2μm的深度,例如4μm;g使用纵横比捕获在沟槽60中生长III‑V材料71,72;以及h在III‑V材料71,72上形成III‑V器件80,III‑V器件80包括至少一个接触区域83,该接触区域83的高度与IV族器件50的接触区域53的高度的差异在100nm以内,优选50nm以内,更优选20nm以内,最优选10nm以内。

本发明授权III-V器件与IV族器件的共同集成在权利要求书中公布了:1.一种方法,其包括: a.提供SixGe1-x100基材,其中x为0-1; b.选择用于在其中形成IV族器件的第一区域和用于在其中形成III-V器件的第二区域,第一区域和第二区域各自包括SixGe1-x100基材的一部分; c.至少为III-V器件在SixGe1-x100基材的第二区域中形成沟槽隔离; d.在步骤c后,在SixGe1-x100基材的第一区域中提供SiyGe1-y100表面,其中y为0到1; e.在步骤d之后但在步骤f之前,在第一区域中的SiyGe1-y100表面上至少部分地形成IV族器件; f.在步骤e之后但在步骤g之前,在SixGe1-x100基材的第二区域中形成穿过沟槽隔离并部分进入SixGe1-x100基材的暴露SixGe1-x100基材的沟槽,相对于第一区域中的SiyGe1-y100表面,沟槽具有至少200nm的深度; g.在步骤f之后但在步骤h之前,使用纵横比捕获在沟槽中生长III-V材料;以及 h.在步骤g之后,在沟槽中的III-V材料上形成III-V器件,III-V器件包括至少一个接触区域,该接触区域的高度与IV族器件的接触区域的高度的差异在100nm以内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人IMEC 非营利协会,其通讯地址为:比利时勒芬;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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