ASML荷兰有限公司周文天获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于电子束图像增强的全自动SEM采样系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113272820B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980087128.7，技术领域涉及：G06T5/60；该发明授权用于电子束图像增强的全自动SEM采样系统是由周文天;于良江;王腾;浦凌凌;方伟设计研发完成，并于2019-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于电子束图像增强的全自动SEM采样系统在说明书摘要公布了：本文中公开了一种自动获取训练图像以训练提高图像质量的机器学习模型的方法。该方法可以包括分析与产品的布局相关的数据的多个图案，以标识产品的样品上的多个训练位置，用以与训练机器学习模型相关地使用。该方法可以包括：针对多个训练位置中的每个训练位置获取具有第一质量的第一图像，并且针对多个训练位置中的每个训练位置获取具有第二质量的第二图像，第二质量高于第一质量。该方法可以包括使用第一图像和第二图像来训练机器学习模型。
本发明授权用于电子束图像增强的全自动SEM采样系统在权利要求书中公布了：1.一种用于自动获取训练图像以训练提高图像质量的机器学习模型的装置，所述装置包括： 存储器；以及 至少一个处理器，耦合到所述存储器，并且被配置为： 分析与产品的布局相关的数据的多个图案，来标识用以与训练所述机器学习模型相关地使用的多个训练位置； 针对所述多个训练位置中的每个训练位置，通过第一扫描次数的第一扫描来获取具有第一质量的第一图像； 针对所述多个训练位置中的所述每个训练位置，通过第二扫描次数的第二扫描来获取具有第二质量的第二图像，所述第二质量高于所述第一质量；以及 使用所述第一图像和所述第二图像来训练所述机器学习模型。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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