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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利套刻误差测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113325666B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010130830.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权套刻误差测量装置及方法是由杨晓青设计研发完成，并于2020-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本套刻误差测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种套刻误差测量装置及方法，所述套刻误差测量装置包括照明单元、分光器件、物镜、第一探测单元和数据处理器。所述第一探测单元包括第一孔径光阑，所述第一孔径光阑包括至少一个可调节通孔。调节所述通孔，当所述第一孔径光阑为第一状态时，所述第一探测器获取第一信号并传输至所述数据处理器，当所述第一孔径光阑为第二状态时，所述第一探测器获取第二信号并传输至所述数据处理器。所述第一信号为校准信号，通过所述第一信号校准所述第二信号并利用校准后的第二信号计算出套刻误差。因此，利用所述套刻误差测量装置及方法可获取更为精准的套刻误差，从而提高套刻误差测量装置的检测性能，提高工作效率。

本发明授权套刻误差测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种套刻误差测量装置，其特征在于，所述套刻误差测量装置包括照明单元、分光器件、物镜、第一探测单元和数据处理器；所述照明单元用于提供两种以上不同光照模式的光照；所述分光器件包括第一分光板和第二分光板； 所述照明单元提供的所述光照经所述第一分光板和所述物镜传输至第一衬底或第二衬底上，并经所述第一衬底或所述第二衬底反射后，传输经所述物镜、所述第一分光板和所述第二分光板后形成第一光束，所述第一光束传输至所述第一探测单元； 所述第一探测单元包括第一孔径光阑和第一探测器，所述第一孔径光阑包括至少一个可调节的通孔，所述第一光束经所述第一孔径光阑传输至所述第一探测器；当所述光照经所述第一衬底反射，且通过调节所述通孔使所述第一孔径光阑处于第一状态时，所述第一探测器输出第一信号至所述数据处理器；当所述光照经所述第二衬底反射，且通过调节所述通孔使所述第一孔径光阑处于第二状态时，所述第一探测器输出第二信号至所述数据处理器； 所述数据处理器用于根据所述第一信号和所述第二信号计算套刻误差。

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