三星显示有限公司林东彦获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利激光照射装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113441853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011101674.2,技术领域涉及:B23K26/53;该发明授权激光照射装置是由林东彦;金泳植;金志洙;金炫眞;柳壎澈设计研发完成,并于2020-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光照射装置在说明书摘要公布了:激光照射装置可以包括:光学系统,照射激光束;密封盒,包括截断从所述光学系统提供的所述激光束的两末端来使所述激光束通过的多个光束切割器;腔体,包括支承基板的工作台,以向该基板照射从所述密封盒提供的所述激光束;排气部,与所述密封盒连接;第一传感器,配置在所述密封盒内,且测量所述密封盒内的温度;以及控制部,根据由所述第一传感器测量出的测量温度,控制所述排气部使得所述排气部的排气压力可变。
本发明授权激光照射装置在权利要求书中公布了:1.一种激光照射装置,包括: 光学系统,照射激光束; 密封盒,包括截断从所述光学系统提供的所述激光束的两末端来使所述激光束通过的多个光束切割器以及配置在所述光束切割器上且吸收并去除从所述光束切割器反射的激光束或者从基板反射的激光束的光束收集器; 腔体,包括支承所述基板的工作台,以向该所述基板照射从所述密封盒提供的所述激光束; 排气部,与所述密封盒连接; 第一传感器,配置在所述密封盒内,且测量所述密封盒内的温度;以及 控制部,根据由所述第一传感器测量出的测量温度,控制所述排气部使得所述排气部的排气压力可变; 其中,所述测量温度越高,所述排气压力越增加。
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