IMEC 非营利协会B·戴伊获国家专利权
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龙图腾网获悉IMEC 非营利协会申请的专利用于对电子显微镜图像进行去噪的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114170092B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110793368.8，技术领域涉及：G06T5/70；该发明授权用于对电子显微镜图像进行去噪的方法是由B·戴伊;S·霍尔德;G·S·卡尔;V·M·布兰克;S·S·S·瓦达库普杜帕拉亚姆设计研发完成，并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于对电子显微镜图像进行去噪的方法在说明书摘要公布了：本发明一般涉及图像处理。特别地，本发明涉及一种用于对电子显微镜EM图像进行去噪的方法和设备。该方法包括选择EM图像的补丁的步骤，其中该补丁包括多个像素，其中对该补丁执行以下步骤：i用来自同一EM图像的不同的、优选为随机选择的像素的值替代该补丁的一个像素的值，优选为中心像素的值；ii基于该补丁中其他像素的值来确定该一个像素的去噪值；以及iii用确定的去噪值替代该一个像素的值。
本发明授权用于对电子显微镜图像进行去噪的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于分析样本的方法60，所述样本是包括存储器结构的管芯，其中所述方法60包括以下步骤： 用扫描电子显微镜SEM记录所述样本的截面的电子显微镜EM图像，其中所述EM图像以所述SEM的电压对比模式来被记录， 对所记录的EM图像进行去噪62； 对所述样本的截面执行63空间解析检查测量，其中所述检查测量包括确定所述样本的截面的不同位置处的电气特性值，所述电气特性值为电导率值； 将去噪EM图像的像素值与在所述样本的所述截面的不同位置处确定的所述电气特性值相关64； 基于所述相关来生成65特性映射91，其中所述特性映射指示所述EM图像中可见的结构的所述电气特性；以及 基于所述相关来确定校准曲线92，其中所述校准曲线92将所述EM图像89的像素值与电气特性值相关。
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