株式会社斯库林集团冈田吉文获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114203587B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111094534.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由冈田吉文设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。主机器人的机械手进入到处理单元。将由机械手保持的处理前的衬底交递到处理单元的搬入位置。在将处理前的衬底交递到搬入位置之后，利用机械手从处理单元的搬出位置接收处理后的衬底。在从搬出位置接收处理后的衬底之后，使机械手从处理单元退出。利用处理单元对处理前的衬底进行处理。
本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 处理单元，具有供搬入处理前的衬底的搬入位置与搬出处理后的衬底的搬出位置，并对所述处理前的衬底进行处理；以及 衬底搬送部，具有多个机械手，所述机械手构成为能够选择性地保持所述处理前及处理后的衬底； 所述处理单元设置着多个， 所述多个机械手分别对应于多个处理单元， 所述多个机械手各自保持着所述处理前的衬底进入到对应的所述处理单元且将所述处理前的衬底交递到所述搬入位置之后，由同一所述机械手从所述搬出位置接收所述处理后的衬底，在接收所述处理后的衬底之后从对应的所述处理单元退出。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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