应用材料公司小林悟获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于等离子体均匀度的径向和方位控制的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551207B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210139214.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子体均匀度的径向和方位控制的系统和方法是由小林悟;菅井英夫;N·卡尔宁;S·朴;T·特兰;D·卢博米尔斯基设计研发完成，并于2018-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体均匀度的径向和方位控制的系统和方法在说明书摘要公布了：一种系统包括工艺腔室、界定波导空腔的壳体、和在壳体内的第一导电板。第一导电板面向工艺腔室。所述系统还包括至少可调整第一导电板的位置的一个或多个调整装置、以及在波导空腔与工艺腔室之间的与壳体耦接的第二导电板。电磁辐射可经由第二导电板中的孔从波导空腔传播到工艺腔室中。所述系统还包括封闭工艺腔室而与波导空腔隔开的介电板、以及将电磁辐射发送到波导空腔中的一个或多个电子设备组。当至少一种工艺气体在腔室内且电磁辐射从波导空腔传播到工艺腔室中时，形成等离子体。
本发明授权用于等离子体均匀度的径向和方位控制的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体产生系统，包括： 壳体，限定工艺腔室和波导空腔，其中所述波导空腔设置成与所述工艺腔室相邻并且配置成将电磁辐射从所述波导空腔传播到所述工艺腔室中； 第一导电板，定位在所述壳体内并且至少部分地限定所述波导空腔； 第二导电板，定位在所述壳体内并且至少部分地限定所述波导空腔以影响所述波导空腔内传播的电磁辐射的模式； 一个或多个电子设备组，配置成将所述电磁辐射发送到所述波导空腔中以从在所述工艺腔室内输送的至少一种工艺气体产生等离子体； 介电板，其中所述第一导电板位于所述壳体内、与所述介电板平行，在所述第二导电板与所述介电板之间有间隙； 可调整介电层，所述可调整介电层包括设置在所述间隙内的液体电介质；以及 控制器，所述控制器配置成增加或移除所述液体电介质的部分。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励