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龙图腾网获悉青岛明华电子仪器有限公司申请的专利一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114838789B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210339302.6，技术领域涉及：G01F25/10；该发明授权一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法是由周璐;孔令伟;董栋;钱伟;窦灏;丁万生;李德安;田红兵;刘文亮;徐军;杨晓明;孟繁杰;刘文芝;刘霞;季德程;梁荣林;刘景超;孙勋松;张亮;成林全;王新设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法，包括：基于标准质量流量控制值以对某一待处理气体的质量流量进行控制，待处理气体与热式质量流量控制器的标定气体不同；采用体积流量计获取待处理气体的质量流量实测值；基于待处理气体的标准质量流量控制值及质量流量实测值获取质量流量校准模型；采用质量流量校准模型对待处理气体的目标质量流量控制值进行校准以获取待处理气体的实际质量流量控制值，并基于实际质量流量控制值对待处理气体的质量流量进行控制。通过本公开提供的方法，有效解决了现有技术中的热式质量流量控制器只能对单一气体的质量流量进行控制的问题。

本发明授权一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法在权利要求书中公布了：1.一种用于热式质量流量控制器的气体质量流量校准方法，其特征在于，包括： 向热式质量流量控制器输入标准质量流量控制值，所述标准质量流量控制值用于对某一待处理气体的质量流量进行控制，所述标准质量流量控制值的个数为多个；所述待处理气体与所述热式质量流量控制器的标定气体不同； 在所述热式质量流量控制器的输出端连接体积流量计，通过所述连接体积流量计获取所述待处理气体的体积流量实测值，并将所述体积流量实测值转换为质量流量实测值； 对所述多个待处理气体的标准质量流量控制值及对应的质量流量实测值进行线性拟合，得到质量流量校准模型； 将所述待处理气体的目标质量流量控制值输入所述质量流量校准模型进行校准，得到所述待处理气体的实际质量流量控制值，并基于所述实际质量流量控制值对所述待处理气体的质量流量进行控制； 所述将所述体积流量实测值转换为质量流量实测值，包括： 标准状况下，所述待处理气体的质量流量实测值为所述体积流量计的读数； 非标准状况下，基于所述体积流量计的读数通过以下公式计算得到所述待处理气体的质量流量实测值： ， 其中，为待处理气体的质量流量实测值，为标准状况下的气体压强，为标准状况下的气体温度，为非标准状况下的气体压强，为非标准状况下的气体温度，为非标准状况下体积流量计的读数。

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