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龙图腾网获悉湖北心海工业智能设备有限公司申请的专利一种正负压力固晶炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114883225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210639337.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种正负压力固晶炉是由赵华卫;魏亮;张华伟设计研发完成，并于2022-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种正负压力固晶炉在说明书摘要公布了：本发明公开了一种正负压力固晶炉,涉及半导体芯片制造处理技术领域。包括箱体，箱体内部设置有处理室，箱体一侧铰接有机械式密封门；抽气机构，抽气机构安装于箱体内部并与处理室内部相连通；加压充气机构，加压充气机构设置于箱体一侧，加压充气机构与处理室内部相连通；电气控制柜，电气控制柜设置于箱体一侧，电气控制柜分别与抽气机构和加压充气机构电连接；温度控制机构，温度控制机构设置于箱体内部，温度控制机构用于控制处理室的温度。本发明可有效避免半导体芯片在封装过程中出现气泡的情况，保证了半导体零件的质量。

本发明授权一种正负压力固晶炉在权利要求书中公布了：1.一种正负压力固晶炉，其特征在于，包括： 箱体，所述箱体内部设置有处理室，所述箱体一侧铰接有机械式密封门； 抽气机构，所述抽气机构安装于所述箱体内部并与所述处理室内部相连通； 加压充气机构，所述加压充气机构设置于所述箱体一侧，所述加压充气机构与所述处理室内部相连通； 电气控制柜，所述电气控制柜设置于所述箱体一侧，所述电气控制柜分别与所述抽气机构和所述加压充气机构电连接； 温度控制机构，所述温度控制机构设置于所述箱体内部，所述温度控制机构用于控制处理室的温度； 所述加压充气机构包括空压机、氮气机和压力调节阀，所述空压机安装于所述箱体内部，所述氮气机设置于所述箱体一侧，所述空压机的进气口连接有电控三通阀，所述电控三通阀的一个通口与所述氮气机管路连接，另一个通口与外接环境相连通，所述压力调节阀一端与所述空压机的出气口管路连接，另一端与所述处理室内部相连通； 所述电气控制柜包括泄真空控制器和充氮控制器，所述泄真空控制器与所述抽气机构电连接，所述泄真空控制器用于控制箱体的泄真空作业，所述充氮控制器与所述加压充气机构电连接，所述充氮控制器用于控制箱体内的充氮作业。

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