株式会社日立高新技术王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115298794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080098588.2，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权带电粒子束装置是由王宇;山崎实;笹气裕子设计研发完成，并于2020-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够在短时间内高效地求出装置的最佳参数的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置具备：电子枪1，其向试样10照射电子束2；图像处理部901，其根据因电子束2从试样10产生的信号12得到试样10的图像；数据库604，其针对作为光学条件的第一参数、作为与装置性能相关的值的第二参数以及作为关于装置结构的信息的第三参数，保持相互的对应而存储多个解析值和测定值；以及学习器605，其从数据库604中搜索并求出满足第二参数的目标值的第一参数。
本发明授权带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束装置，其特征在于， 所述带电粒子束装置具备： 电子枪，其向试样照射电子束； 图像处理部，其根据因所述电子束从所述试样产生的信号得到所述试样的图像； 数据库，其针对作为光学条件的第一参数、作为与装置性能相关的值的第二参数以及作为关于装置结构的信息的第三参数，保持相互的对应而存储多个解析值和测定值；以及 学习器，其从所述数据库中搜索并求出满足所述第二参数的目标值的所述第一参数， 在所述带电粒子束装置使用从所述数据库中搜索并求出的所述第一参数测定出的所述第二参数不满足所述目标值的情况下，所述学习器将该测定出的所述第二参数与该求出的所述第一参数相互对应起来存储于所述数据库中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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