安徽万瑞冷电科技有限公司杨杨获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万瑞冷电科技有限公司申请的专利抽水汽低温泵及水汽抽速测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115324868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211145493.9,技术领域涉及:F04B37/08;该发明授权抽水汽低温泵及水汽抽速测试方法是由杨杨;邓家良;武义锋;曾环;冯欣宇;王建勇;韩雨松;程祥设计研发完成,并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽水汽低温泵及水汽抽速测试方法在说明书摘要公布了:本发明公开抽水汽低温泵,包括制冷机、壳体、障板、辐射冷屏、低温板、排水组件;所述壳体连接所述制冷机,所述辐射冷屏连接所述制冷机的一级冷却台,所述低温板连接所述制冷机的二级冷却台,所述障板连接所述辐射冷屏的顶部,所述辐射冷屏位于所述壳体的内部,所述辐射冷屏与所述壳体同轴布置,所述壳体与所述辐射冷屏的底部为倾斜面,所述壳体与所述辐射冷屏的倾斜面设有出水口,所述壳体的出水口与所述排水组件连接。本发明还公开水汽抽速测试方法。本发明的有益效果:缩短低温泵再生时间,提高再生效果,避免对前级泵造成不利影响,提高镀膜设备的运行效率;低温泵水汽测试方法,能够优化理论计算参数,提高计算精度。
本发明授权抽水汽低温泵及水汽抽速测试方法在权利要求书中公布了:1.水汽抽速测试方法,其特征在于,包括抽水汽低温泵、测试密封装置、加热装置、密封量筒、抽空装置;所述抽水汽低温泵位于所述测试密封装置内,所述测试密封装置包括真空测量计,所述密封量筒通过气体管道连接所述测试密封装置,所述密封量筒通过抽空管道连接所述抽空装置; 所述加热装置加热所述密封量筒,同时记录水面刻度,打开抽空装置;当密封量筒内水开始沸腾,将水汽通入测试密封装置至待测试真空值并开始计时,保持通气10分钟以上,关闭通水汽,记录水面刻度值和持续通水汽时间,通过S=QP,得到待测真控值下抽水汽低温泵的水汽抽速,重复上述操作多次,得到不同真空值下水汽抽速,最终得到水汽低温泵的水汽抽速曲线; 所述加热装置包括恒温加热器、器皿,所述器皿内有水,所述密封量筒位于器皿内,所述器皿位于所述恒温加热器上; 还包括针阀、手阀,所述针阀连接所述气体管道,所述手阀连接抽空管道。
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