苏州德龙激光股份有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司申请的专利晶圆裂片设备用试验装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115389237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210992419.4,技术领域涉及:G01M99/00;该发明授权晶圆裂片设备用试验装置是由赵裕兴;卢铎文设计研发完成,并于2022-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆裂片设备用试验装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种晶圆裂片设备用试验装置,包括加工轴滑板、击锤和劈刀,加工轴滑板沿着Z轴方向安装在外部的加工轴上,通过加工轴可驱动加工轴滑板沿着Z轴方向移动,加工轴滑板沿着X轴方向的中间位置设置有击锤,击锤固定零件沿着Z轴负方向的一侧设置有劈刀。本发明通过晶圆裂片设备用试验装置的结构设置,可以方便对晶圆裂片加工中的多个参数进行测试试验,通过研究击锤敲击性能,弹簧系数,综合劈刀安装刀架自重力,反复多次测试击锤不同安装位置,弹簧不同压缩量下劈刀的位移,形成完整数据。
本发明授权晶圆裂片设备用试验装置在权利要求书中公布了:1.晶圆裂片设备用试验装置,包括加工轴滑板1、击锤5和劈刀6,其特征在于,所述加工轴滑板1沿着Z轴方向安装在外部的加工轴上,通过加工轴可驱动所述加工轴滑板1沿着Z轴方向移动,所述加工轴滑板1沿着X轴方向的中间位置设置有击锤5,所述击锤5通过若干个紧定螺钉压紧在击锤固定零件7上,所述击锤5的推杆朝向Z轴负方向的一侧,所述击锤固定零件7沿着Z轴方向固定安装在加工轴滑板1上,所述击锤固定零件7沿着Z轴负方向的一侧设置有劈刀6,所述劈刀6沿着X轴方向安装在劈刀安装板2上沿着Z轴负方向的一侧,所述击锤5沿着X轴方向两侧的加工轴滑板1上均设置有弹簧固定块9,所述弹簧固定块9上沿着Z轴方向悬挂安装有转接板10,所述转接板10沿着Z轴负方向的一侧与下方的劈刀安装板2相连接。
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