买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海华岭集成电路技术股份有限公司申请的专利一种针卡保护盖自动化操作装置、探针台及晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115728529B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211512395.4，技术领域涉及：G01R1/073；该发明授权一种针卡保护盖自动化操作装置、探针台及晶圆检测装置是由顾良波;李文敬;杨自洪设计研发完成，并于2022-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种针卡保护盖自动化操作装置、探针台及晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种针卡保护盖自动化操作装置、探针台及晶圆检测装置，包括承载单元、传感单元以及机械臂；所述承载单元设于探针台，且具有用于放置所述针卡的一承载区域；所述传感单元包括第一传感单元，所述第一传感单元用于检测所述承载区域内是否存在所述保护盖，以及将第一检测信号实时发送给所述机械臂；所述机械臂设置于所述承载单元上方，用于接收来自所述第一传感单元的所述第一检测信号以及来自所述探针台发送的操作指令，并根据所述第一检测信号及所述操作指令执行相应操作。利用所述自动装置对所述针卡进行自动化操作，避免人工忘记安装或取下所述保护盖导致所述保护盖与晶圆碰撞使晶圆受损或所述针卡内的探针损伤。

本发明授权一种针卡保护盖自动化操作装置、探针台及晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种针卡保护盖自动化操作装置，所述针卡用于探针台对晶圆进行检测，其特征在于，包括：承载单元、传感单元以及机械臂； 所述承载单元设于所述探针台，且具有一承载区域，所述承载区域用于放置所述针卡； 所述传感单元包括第一传感单元，所述第一传感单元用于检测所述承载区域内是否存在所述保护盖，以及将第一检测信号实时发送给所述机械臂； 所述机械臂设置于所述承载单元上方，用于接收来自所述第一传感单元的所述第一检测信号和来自所述探针台发送的操作指令，以及，根据所述第一检测信号及所述操作指令执行相应操作； 所述操作指令包括进卡指令和退卡指令；所述针卡保护盖自动化操作装置还包括一容置单元，所述传感单元还包括第二传感单元，所述容置单元用于放置从所述针卡取下的所述保护盖，所述第二传感单元用于检测所述容置单元内是否存在所述保护盖，并将第二检测信号发送给所述机械臂；若所述操作指令为所述退卡指令且所述第二检测信号显示所述容置单元存在所述保护盖，所述机械臂将所述保护盖盖合于所述针卡。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华岭集成电路技术股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区郭守敬路351号2号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。