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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利金刚石单个NV色心规则阵列的制作方法及结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116008040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310128648.6，技术领域涉及：G01N1/28；该发明授权金刚石单个NV色心规则阵列的制作方法及结构是由江旺;董杨;高学栋;孙方稳设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本金刚石单个NV色心规则阵列的制作方法及结构在说明书摘要公布了：本公开提出了一种金刚石单个NV色心规则阵列结构的制作方法，包括：对金刚石表面进行预处理，得到预处理后的金刚石表面。在预处理后的金刚石表面进行匀胶处理，均匀涂抹聚甲基丙烯酸甲酯混合胶形成聚甲基丙烯酸甲酯膜，烘烤加固后，在所述聚甲基丙烯酸甲酯膜上镀膜形成导电膜，然后进行电子束曝光处理，对曝光后的样品进行显影处理，得到具有规则阵列的金刚石样品。对具有规则阵列的金刚石样品进行14N离子注入，清洗去除样品表面的聚甲基丙烯酸甲酯混合胶，然后进行退火，清洗处理后得到金刚石单个NV色心规则阵列结构。

本发明授权金刚石单个NV色心规则阵列的制作方法及结构在权利要求书中公布了：1.一种金刚石单个NV色心规则阵列结构的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤： 对金刚石表面进行预处理，得到预处理后的金刚石表面； 在所述预处理后的金刚石表面进行匀胶处理，均匀涂抹聚甲基丙烯酸甲酯混合胶形成聚甲基丙烯酸甲酯膜，对所述聚甲基丙烯酸甲酯膜进行烘烤加固后，在所述聚甲基丙烯酸甲酯膜上镀膜形成导电膜，然后进行电子束曝光处理，对曝光后的样品进行显影处理，得到具有规则阵列的金刚石样品，所述匀胶处理包括将所述预处理后的金刚石表面粘贴在硅片边缘，将聚甲基丙烯酸甲酯混合胶均匀滴在所述预处理后的金刚石表面，形成聚甲基丙烯酸甲酯膜，其中，所述聚甲基丙烯酸甲酯混合胶是聚甲基丙烯酸甲酯-A4和聚甲基丙烯酸甲酯-A7以2:1～3:1的比例混合得到，所述聚甲基丙烯酸甲酯膜的厚度为280nm～320nm，匀胶时间为38s～42s，匀胶机转速为3500～4500rs，所述烘烤处理是对所述聚甲基丙烯酸甲酯膜在180～200℃的条件下热板烘烤200～220s； 对所述具有规则阵列的金刚石样品进行14N离子注入，清洗去除样品表面所述聚甲基丙烯酸甲酯混合胶，然后进行退火，清洗处理后得到所述金刚石单个NV色心规则阵列结构；其中，所述退火操作包括金刚石样品在4～5×10-5Pa的压强下，升温至第一温度，保持第一时长，再将温度线性升高至第二温度，稳定保持第二时长，然后逐步恢复室温和标准大气压环境，其中，所述第一温度包括395～405℃，所述第一时长包括0.9～1.1h，所述第二温度包括800～820℃，所述第二时长包括1.9～2.1h。

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