陕西光电子先导院科技有限公司杨飞获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西光电子先导院科技有限公司申请的专利薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116088273B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211709511.1，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法是由杨飞;赵涛设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法在说明书摘要公布了：本发明公开了薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法，步骤1，准备大小不一的两个实验载片将其贴合，然后整面贴蓝膜将两个实验载片固定；步骤2，在步骤1的小实验载片上开孔蓝膜，并去除掉蓝膜；步骤3，将小实验载片替换成薄片晶圆并将蓝膜贴重新贴上；步骤4，将薄片晶圆边缘的蓝膜碾压至无气泡为止；步骤5，将步骤4中大实验载片使用匀胶机匀胶后，取下大实验载片，将蓝膜从边缘撕掉，取下薄片晶圆进行热板烘烤，后即完成薄片晶圆匀胶工艺，本发明提供了薄片晶圆在进行光刻工艺过程中，如何进行匀胶的技术手段，解决了现有的匀胶过程中晶圆易破碎的问题。
本发明授权薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法在权利要求书中公布了：1.薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法，其特征在于，具体按以下步骤实施： 步骤1，准备大小不一的两个实验载片将其贴合，然后整面贴蓝膜将两个实验载片固定； 步骤2，在步骤1的小实验载片上开孔蓝膜，并去除掉蓝膜； 步骤3，将小实验载片替换成薄片晶圆并将蓝膜贴重新贴上； 步骤4，将薄片晶圆边缘的蓝膜碾压至无气泡为止； 步骤5，将步骤4中大实验载片使用匀胶机匀胶后，取下大实验载片，将蓝膜从边缘撕掉，取下薄片晶圆进行热板烘烤，后即完成薄片晶圆匀胶工艺； 所述步骤3中的替换过程具体为：将开孔后的蓝膜撕开至小实验载片可完全取出后停止撕蓝膜，标记小实验载片的位置，将小实验载片取下，将薄片晶圆匀胶面朝上放置于标记位置并与其重合，将蓝膜贴重新贴上。
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