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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116149053B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310259358.5，技术领域涉及：G02B27/00；该发明授权一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法是由崔怀愈;赵永蓬;赵东迪;王致远设计研发完成，并于2023-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法在说明书摘要公布了：一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，它涉及光学领域，本发明要解决极紫外波段光无法同时实现单点聚焦以及波前分割的问题，本发明的方法：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：90°‑θ1+θ2+θ+180°‑θ3＝180°，依据上述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法。本发明的方法能够在获得一个很高反射率的同时，极大的减小光学畸变，同时除聚焦外具备波前分割功能，实现一定程度上的光场调控。

本发明授权一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法在权利要求书中公布了：1.一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，其特征在于，所述方法是利用光学元件通过调整极紫外波段光与光学元件的角度关系实现的，所述方法包括： 将所述光学元件的内表面的面型设置为使掠入射反射的极紫外波段光的入射光线被全反射或接近全反射的面型； 设所述光学元件的光源进入端的端口半径为r1，光源射出端的端口半径为r2，令所述极紫外波段光的入射光斑半径小于等于r1，焦平面上的极紫外波段光的光斑半径小于等于r2； 设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式： 90°-θ1+θ2+θ+180°-θ3＝180°1 依据所述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法；其中，所述的调控包括： 设掠入射光的全反射角为θc，通过调节θ进而调节θ1，来获得所需反射率和波前干涉效果，以能够在聚焦的同时使得波前分割产生的干涉条纹的能量密度峰值呈指数倍增加； 其中，在调节θ时，使得θ1小于等于θc或接近θc；当θ1≤θc时，单根光线在光学元件内表面为全反射；当θ1θc时，单根光线在光学元件内表面为非全反射，该种情况下的反射率通过测量或计算获得。

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