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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116182738B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310150616.6，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置是由王健;陈佳浩;彭立华;徐龙;周莉萍设计研发完成，并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置在说明书摘要公布了：本发明属于精密仪器相关技术领域，其公开了一种基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置，测量装置包括分光模块、二向色镜、参考镜、成像透镜及光谱仪，分光模块用于将接收到的光线分为第一光束及第二光束，第一光束被待测的薄膜全波段反射；第二光束中部分波段的光被参考镜反射回来与薄膜反射回来的对应波段的光发生干涉，干涉光与薄膜反射回来的其余光进入光谱仪。本发明通过对光谱图像进行处理，即可同时得到薄膜样品的表界面轮廓，二向色镜的滤光功能使得同时得到干涉光谱和反射光谱，实现了单次曝光下对薄膜样品表界面轮廓的测量，不需要多次曝光或者对直接获得的光强再处理就可以直接得到测量样品干涉光谱和反射光谱。

本发明授权基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量装置，其特征在于： 所述测量装置包括分光模块、二向色镜、参考镜、成像透镜及光谱仪； 工作时，所述分光模块用于将接收到的光线分为第一光束及第二光束，所述第一光束被待测的薄膜全波段反射； 所述第二光束中波长为所述二向色镜透射波段的光被所述参考镜反射，其余光离开所述测量装置；所述参考镜反射回来的光与所述薄膜反射回来的、且波长为所述二向色镜透射波段的光在所述分光模块产生干涉而形成干涉光；所述干涉光与所述薄膜反射回来的、且波长为所述二向色镜反射波段的光经过所述成像透镜后到达所述光谱仪；或者，所述第二光束中波长为所述二向色镜反射波段的光被所述参考镜反射，其余光离开所述测量装置；所述参考镜反射回来的光与所述薄膜反射回来的、且波长为所述二向色镜反射波段的光在所述分光模块产生干涉而形成干涉光；所述干涉光与所述薄膜反射回来的、且波长为所述二向色镜透射波段的光经过所述成像透镜后到达所述光谱仪； 所述光谱仪同时采集到干涉光的光谱图像及反射光的光谱图像，进而实现同时测量薄膜的表界面轮廓。

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